Mūsdienu informācijas sabiedrībā, magnētiskā lauka sensorus kļuvuši obligāti pamatelements, informācijas tehnoloģiju un informācijas nozarēs.
Šobrīd magnētiskā lauka sensorus, izmantot dažādu fizisko, ķīmisko un bioloģisko efektu ir izstrādāti plaši izmantoja dažādus aspektus, zinātniskās pētniecības, ražošanas un sociālajā dzīvē un ir uzsākušas uzdevums ir izzināt dažāda veida informācija. Tomēr, magnētiskā lauka izpētes tehnoloģijām vairumu joprojām ir problēmas jutīgumu un Histerēzes kļūda, kas kavē to praktisko piemērošanu. Apvienojot augstas jutības magnētisko, zemu Histerēzes un ātra reakcija virsmas akustisko viļņu grid veida dzelzs, kobalta (FeCo) magnetostriktīvi plēves, ir iespējams realizēt jauna veida ātru, augstas jutības zemu Histerēzes kļūda, stabila un uzticama. Magnētiskā lauka noteikšanas metodi nosaka magnētiskā lauka.
Wang Wen, pH.d., pētnieks, ultraskaņas tehnoloģiju centra akustika institūts, Ķīnas zinātņu akadēmijas un citi, konstatēts, ka režģa raksts dizains, dzelzs, kobalta magnetostriktīvi filmu var iegūt jauna veida ātri un jutīgi magnētiskā lauku noteikšanas metodi un uzlabotu magnētiskā lauka sensors. Linearitātes, konsekvenci un stabilitāte samazina Histerēzes kļūdas, tādējādi uzlabojot veiktspēju magnētiskā lauka sensors. Attiecīgie rezultāti ir publicēti starptautiskā žurnāla AIP avansa maksājumi.
Pēdējos gados, pētnieki ir izmantojuši magnetostriktīvi filmas kā virsmas akustisko viļņu (SAW) sensori slepenu filmas, nodrošinot jaunu metodi projektēšana magnētiskā lauka sensorus. Wang Wen pētniecības komanda ir ierosinājusi SAW ierīces, kas balstās uz dzelzs, kobalta filmu uzrādei strāvu magnētisko lauku un iegūst teorētiskās optimizācijas jutība ir augsta kā 8.3 kHz / MT. Tomēr spēcīgu Histerēzes efektu * magnetostriktīvi filmās rada ievērojamu Histerēzes kļūdas un ievērojami mazina sensora veiktspēju.
Šoreiz pētnieki piejūgt dzelzs, kobalta magnetostriktīvi jutīgas filmu modelis noformējuma režģa virsmas akustisko viļņu par magnētiskā lauka izpētes. Ierosināto sensors sastāv no diferenciāļa divkāršas kavēšanās līnija oscilators, kā parādīts 1. zīmējumā.
Ierīces virsmas uzrādes kanālā ir deponējusi noguldījumu dzelzs, kobalta filmu režģa masīva, kas efektīvi aptur Histerēzes efektu, atlaižot iekšējo spriegumu izmaiņu dzelzs, kobalta RF sprauslāt un gravēšanu procesu. References kanālu ierīce tiek izmantota efektīvi samazināt apkārtējās vides temperatūras iedarbību un citus efektus izmantojot diferenciālo metodes. Kad magnētiskā lauka izmaiņas, magnetostriktīvi efekts * un ΔE efekts * lokšņu dzelzs, kobalta izraisīt izmaiņas SAW izplatīšanās ātrums un diferenciāļa svārstību frekvences signālu maiņu var izmantot, lai raksturotu spēks magnētiskais lauks jāmēra.
Eksperimenta rezultāti liecina, ka Histerēzes efektu, dzelzs, kobalts materiālā sekmīgi apspiedusi SAW magnētiskā lauka sensors, izmantojot dzelzs, kobalta grid veida magnētiskās jutīgas filmu, un Histerēzes kļūda ir tikai piektā daļa no dzelzs, kobalta filmu sensoru. Jutīgumu un sensoru linearitāte ir arī ievērojami uzlabojusies, kā parādīts 2. attēlā. Šis pētījums sniedz efektīvu veidu, kā augstas veiktspējas magnētiskā lauka noteikšanai.
* Stipra Histerēzes efektu: magnetizācija valsts ferromagnētisku materiālu maiņa vienmēr atpaliek no magnētiskā lauka attiecināts pārmaiņām. Pēc noņemšanas ārējo magnētiskā lauka materiālu joprojām var saglabāt sākotnējo daļēju magnētiskās īpašības.
* Magnetostriktīvi efekts: lielumu un materiālu apjomu mainīt ferromagnētisku materiālu mainoties ārējā magnētiskajā laukā.
* ΔE efekts: mainoties ferromagnētisku materiālu ārējā magnētiskajā laukā, tās Junga (E) elastība mainās.
1. attēlā pamatstruktūra virsmas akustisko viļņu magnētiskā lauka sensors, b sensoru elementu reakcija, noguldot izkārtoti režģī dzelzs, kobalta filmu c sensora ierīce
2. attēls salīdzinot sensora veiktspēju starp deponētas dzelzs, kobalta filmu un režģa masīvā, () Histerēzes kļūda tests, b jutīguma tests